數字式電阻率測試儀技術文章

一·概述
M-2型數字式電阻率測試儀是運用四探針測量原理的多種用途綜合測量裝置，它可以測量片狀，塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻（也稱方塊電阻）。換上特制的四探針測試夾具，還可以對金屬導體的低，中值電阻進行測量。

儀器由主機，測試探頭（可選配測試臺）等部分組成，測試結果用數字表頭直接顯示。主機主要由數控恒流源，高分辨率ADC，嵌入式單片機系統組成，自動轉換量程。測試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成，定位準確，游移率較小，壽命長。

儀器適用于半導體材料廠，半導體器件廠，科研單位，高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合.

本儀器工作條件為：
溫度： 
相對濕度： 60% ~ 70%
工作室內應無強電磁場干擾，不與高頻設備共用電源

二· 技術參數
1. 測量范圍：

電阻率：10 -2  ~ 102Ω-cm
方塊電阻：10 -1  ~ 103Ω/□
電阻：10 -3  ~ 9999Ω



2. 可測半導體材料尺寸
直徑：15mm-100mm
長（或高）度：≤400mm


3. 測量方位：
Z軸向，徑向均可

4. 數字電壓表
量程：2V
誤差: ：± 0.1% FSB ± 2LSB
大分辨力：10μA
精度： 18位ADC ( 5 1/2 位)
顯示：4位數字顯示，小數點自動顯示

5. 數控恒流源
電流輸出： 直流電流 2μA~ 2mA, 2μA步進可調，系統自動調整。
誤差：± 0.1% FSB ± 0.5LSB

6. 四探針測試探頭：
探針間距： 1mm
探針機械游移率：± 1%
探針：碳化鎢，直徑0.5mm
7.電源： 
DC 4.5V ~8V
功耗： < 1W
電源適配器：輸入： 220V±10% 50Hz
輸出：DC5V ± 10%
8. 外形尺寸：
主機： 170mm (長) X 130mm (寬) X50mm(高)